Kriyopompalar, vakum elde etmek için gaz yoğuşması, kriyojenik adsorpsiyon, kriyojenik yakalama veya emme prensibine göre yapılır.
1. Pompanın çalışma basıncına göre, sürekli akış aralığı için kriyopompa, moleküler akış aralığı için kriyopompa, genellikle yoğuşma pompası artı bir adsorpsiyon aşaması veya bir kriyojenik yakalama aşamasına ayrılabilir.
2. Soğutma yöntemine göre, depolama tankı kriyo pompası, buharlaşmalı kriyo pompası ve soğutma kriyo pompasına ayrılabilir. Bunların arasında, depolama tankı kriyopompası ve buharlaşmalı kriyopompunun her ikisi de soğutma için sıvı soğutucu kullanır, soğutma kalkanı yüzeyi yaygın olarak sıvı nitrojen kullanılır ve kriyojenik yüzey, soğutma için yaygın olarak kullanılan sıvı helyum veya gaz helyumdur. Sıvı hidrojenin yanıcılığı, patlayıcılığı ve yüksek fiyatı nedeniyle, sıvı helyumdan daha yüksek buharlaşma entalpisine rağmen hala nadiren kullanılmaktadır.
Soğutma kriyopompalı buzdolapları Gifford tarafından yaygın olarak kullanılmaktadır. McMahon tipi (GM buzdolabı olarak anılır) ve Stirling tipi (St buzdolabı olarak anılır). Büyük pompalama hızına sahip soğutma kriyopompaları için, bir sıvı helyum sıcaklık dereceli buzdolabı kullanılabilir ve bir sıvı sirkülasyonlu soğutma cihazı oluşturmak üzere bir JT valfi ayarlanabilir ve bazen bir sıvı depolama tankındaki sıvı nitrojen veya nitrojen sıvılaştırma makinesi kullanılır. bölme ve kalkan yüzeyini soğutun.
Cryopump'ın ana performansı
①Pompalama hızından daha yüksek, diğer tüm pompa tiplerinden daha iyi.
②Şekilde herhangi bir kısıtlama yoktur, vakum odasına daldırılabilir veya bir flanş ile vakum odasının duvarına sabitlenebilir.
③Vakum sistemine kirlilik yaratmadan tamamen temiz bir vakum sağlayabilir.
④Vakum derecesi, 10-12Pa'nın altında olduğu gibi, son derece düşük basınç elde edilebilir. Ayrıca, kriyopompanın çalışması güvenilirdir ve pompalama hızı nispeten büyük olduğunda, yatırımının işletme maliyeti geleneksel vakum pompasından daha düşüktür ve otomasyonu gerçekleştirmek kolaydır.