Kriyopompa, kondens pompası olarak da bilinen gazı yoğunlaştırmak için düşük sıcaklık yüzeyi kullanan bir vakum pompasıdır. Kriyopompa, en yüksek pompalama hızına ve en düşük nihai basınca sahip temiz bir vakum elde edebilir ve yarı iletkenlerin ve entegre devrelerin araştırılması ve üretiminin yanı sıra moleküler ışın araştırması, vakum kaplama ekipmanı, vakum yüzeyi analiz cihazları, iyon implanterleri ve uzay simülasyonunda yaygın olarak kullanılır. cihazlar vb.
Pompalama prensibi Kriyopompa, sıvı helyum veya buzdolabı ile çok düşük bir sıcaklığa soğutulan soğuk bir plaka ile donatılmıştır. Gazı yoğunlaştırır ve pompalama etkisini elde etmek için kondensatın buhar basıncını pompanın nihai basıncının altında tutar. Düşük sıcaklık pompalamanın ana fonksiyonları düşük sıcaklıkta yoğuşma, düşük sıcaklık adsorpsiyonu ve düşük sıcaklık yakalamadır.
kriyopompa
(1) Düşük sıcaklıkta yoğuşma: gaz molekülleri soğuk plakanın yüzeyinde veya yoğunlaştırılmış gaz tabakasında yoğunlaşır ve denge basıncı temel olarak kondensatın buhar basıncına eşittir. Hidrojen pompalarken, soğuk plaka sıcaklığı daha düşüktür.
(2) Düşük sıcaklık adsorpsiyonu: Gaz molekülleri, bir moleküler tabaka kalınlığında soğuk plaka üzerine kaplanmış adsorban yüzeyinde adsorbe edilir. Adsorpsiyon için denge basıncı, aynı sıcaklıktaki buhar basıncından çok daha düşüktür.
(3) Kriyojenik yakalama: Ekstraksiyon sıcaklığında yoğuşamayan gaz molekülleri, büyüyen yoğuşabilir gaz tabakası tarafından gömülür ve adsorbe edilir.